| R4 |
R6 |
複合・新機能材料 |
パワー半導体の高密度実装に対応した高放熱セラミックス基板の開発 |
出資獲得枠 |
| R5 |
R7予定 |
材料製造プロセス |
産業廃棄プラスチックの地産地消を実現するケミカルリサイクル装置の開発 |
通常枠 |
| R6 |
R7予定 |
機械制御に関わる技術 |
階層型コンピューティング技術による革新的なロボット用コンピュータ・システムの開発 |
通常枠 |
| R6 |
R8予定 |
表面処理 |
Nebulaプラズマを用いた低環境負荷な半導体用基板洗浄装置の研究開発 |
通常枠 |
| R7 |
R9予定 |
情報処理 |
自動微分に基づく感度解析とマルチ性能設計の統合により製造業の設計効率を革新する基盤技術開発 |
通常枠 |
| R7 |
R9予定 |
情報処理 |
高度判断能力と応用拡張性を持つ先端半導体製造ライン向けＡＩ画像検査技術の研究開発 |
通常枠 |
| R7 |
R9予定 |
機械制御 |
脱炭素型物流に貢献する安全制御機能を備えた多用途対応型交換式電池モジュールの研究開発 |
通常枠 |
| R7 |
R8予定 |
接合・実装 |
高精度Ｘ線計測を基盤とするスパッタ抑制・リアルタイム検査統合スマートレーザ溶接システムの開発 |
通常枠 |
| R7 |
R9予定 |
材料製造プロセス |
霧化技術を利用した使用済みロングライフクーラントの省エネルギーリサイクルプロセスの開発 |
通常枠 |
